下载高密度热阴极等离子体源的技术资料

文档序号:20826068

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本发明公开了一种高密度热阴极等离子体源,包括热阴极发射体,热阴极发射体采用至少一个具有高电子发射特性的条状复合固体材料制成,所述条状复合固体材料总长度远大于其截面长度,端部设有正或负极导电柱,热阴极发射体周边设有与其不接触的耐高温反射辐射层...
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