下载一种侧面加样的单晶炉加样装置的技术资料

文档序号:20821643

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本实用新型属于单晶炉技术领域,具体涉及一种侧面加样的单晶炉加样装置。针对现有技术中,从单晶炉侧面加样的方式导致加料速度降低且影响单晶质量的问题,本实用新型的技术方案是:包括炉室和直拉室,炉室中设置有坩埚,坩埚上方设置有导流筒,所述炉室侧面设...
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