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本实现新型提供了一种离子源多弧柱弧复合PVD镀膜系统，该系统包括真空腔室，该真空腔室内设置有柱弧机构、圆弧机构、工件载体以及加热件，该真空腔室挖设置有真空泵组、供气机构与冷却机构，利用柱弧靶材与第一引弧针触碰通过第一弧电源产生大量的电子对真...
该专利属于法德(浙江)机械科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过法德(浙江)机械科技有限公司授权不得商用。

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