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真空镀膜流片传递装置及其传递方法与应用制造方法及图纸
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文档序号:20813193
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本发明提供了一种真空镀膜流片传递装置及其传递方法与应用,包括传递室、设置于传递室内的传输组件及与传输组件传动连接的驱动机构;传递室的侧壁上开设有传递窗,驱动机构包括水平驱动组件和与传输组件传动连接的旋转驱动组件;旋转驱动组件用于周向转动所述...
该专利属于苏州方昇光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州方昇光电股份有限公司授权不得商用。
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