下载真空镀膜流片传递装置及其传递方法与应用的技术资料

文档序号:20813193

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本发明提供了一种真空镀膜流片传递装置及其传递方法与应用,包括传递室、设置于传递室内的传输组件及与传输组件传动连接的驱动机构;传递室的侧壁上开设有传递窗,驱动机构包括水平驱动组件和与传输组件传动连接的旋转驱动组件;旋转驱动组件用于周向转动所述...
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