下载一种外定位框环贴底膜装置的技术资料

文档序号:20808150

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本发明公开了半导体加工领域内的一种外定位框环贴底膜装置,包括机壳体,与定位平台相对应的前后两侧均设有转动辊组,两转动辊组之间纵向设有具有粘性的传动底膜,定位平台上方对应设有可移动的吸环,外定位框环的内径小于定位平台的外径,外定位框环的外径大...
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