下载一种亚微米流道微流控芯片及其制作方法的技术资料

文档序号:20805764

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本发明公开了亚微米流道微流控芯片及其制作方法,包括:基底层,其上表面设置有激励电极和第一检测电极;上层基片,其下表面设置有微纳米通道,所述微纳米通道中间一段通道宽度小于1微米且为凸起设置;所述上层基片的下表面与所述基底层的上表面键合,其中,...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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