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本发明提供一种微波加热装置的操作方法及使用所述方法的微波退火处理过程，所述操作方法包括在加热腔室中设置载台、在加热腔室外设置微波发射机，并提供半波整流电源耦接至微波发射机，半波整流电源包含有电容器；加热腔室与微波发射机之间连接有纵向波导波管...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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