下载保持构件、保持构件的制造方法、检查装置及切断装置的技术资料

文档序号:20799435

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本发明涉及一种对保持对象物进行保持并用于光学检查的保持构件、保持构件的制造方法、检查装置及切断装置,本发明的课题在于以简单的构成来精度良好地进行保持对象物的边缘检测。本发明的保持构件(13)对多个保持对象物(10)进行保持并用于光学检查,其...
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