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场致发射电极及其制备方法技术
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文档序号:20799331
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本发明公开了一种场致发射电极,包括基底以及形成在基底上的金属电极层,所述金属电极层上设置有呈阵列排布的多个铟柱,每一铟柱的顶面设置有多条纳米线。其制备方法包括步骤:S10、提供基底并基底上沉积形成金属电极层;S20、在金属电极层上制备形成具...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。
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