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感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:20796198
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本发明提供一种可使放射线感度与所谓的PCD裕度、PED裕度特性并存的感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法。所述感放射线性树脂组合物,包含:聚合体成分(A),在相同或不同的聚合体中具有含有芳香环与直接键结于所述芳香环...
该专利属于JSR株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过JSR株式会社授权不得商用。
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