温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例提供一种波导移相器及其制备方法。所述波导移相器包括半导体衬底，所述半导体衬底至少包括衬底层、氧化层和顶层硅层，其中所述氧化层位于所述衬底层和所述顶层硅层的中间，在所述顶层硅层刻蚀出波导阵列，所述波导阵列为至少一条水平排列的脊型波...
该专利属于北京万集科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京万集科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。