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本发明提供的一种集成光学相控阵芯片，包括设置于相控波导阵列一侧的平板区，所述相控波导阵列的光束输出至所述平板区；所述平板区包括层叠设置的衬底层、芯层和包层，相对于所述相控波导阵列的另一端设置有角度扩展结构；所述角度扩展结构为可改变入射光线传...
该专利属于中科天芯科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科天芯科技（北京）有限公司授权不得商用。

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