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压力传感器封壳制造技术
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文档序号:20794621
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压力传感器封壳包括封壳主体,隔离器,压力传感器和流体填充通道。封壳主体限定了处理腔。隔离器由封壳主体支撑并暴露于处理腔。压力传感器产生传感器输出,该传感器输出表示内腔中的压力,该内腔通过隔离器与处理腔隔离。流体填充通道从处理腔延伸到内腔。...
该专利属于罗斯蒙特公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗斯蒙特公司授权不得商用。
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