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本发明公开了一种埋入式法珀微腔超高压力光纤传感器及其制作方法，包括光纤(1)、玻璃管(2)和法珀微腔(4)，所述法珀微腔(4)由Pyrex玻璃基底(3)和覆盖于所述Pyrex玻璃基底(3)开放端的弹性膜片(5)构成，光纤(1)与法珀微腔(4...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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