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本实用新型提供了一种多光束垂直腔面发射激光芯片，垂直腔面发射激光芯片的出光区域具有第一透明层以及位于所述第一透明层表面的第二透明层；所述第一透明层具有将所述芯片的出射光分成多束光的衍射光栅；所述第二透明层具有使所述衍射光出射的多束光进行干涉...
该专利属于厦门乾照半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门乾照半导体科技有限公司授权不得商用。

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