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一种集成化制出的流体系统，包含一流体作动区、一流体通道、一汇流腔室以及多个阀，该流体作动区由一或多个导流单元所构成，各导流单元由入口板、基材、共振板、致动板以及出口板依序堆叠所构成，致动板更贴附一压电元件，以受驱使振动而使流体导入该导流单元...
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