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一种快照式全场白光干涉显微测量装置制造方法及图纸
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下载一种快照式全场白光干涉显微测量装置的技术资料
文档序号:20787920
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本实用新型公开了一种快照式全场白光干涉显微测量装置。它是在白光干涉显微测量法和快照式光谱成像探测术的基础上,利用复色平行光经过轴向色散型干涉光学系统后沿轴向依次色散并一一对应地聚焦于不同的轴向深度位置、以及光谱域上的白光干涉信号强度随波长变...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。
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