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本实用新型公开了一种基于悬臂梁应变测量的F‑P标准具微位移测量系统的线性度比对装置。包括面阵器件、F‑P标准具干涉测量系统、应力加载系统、矩形等截面梁、悬臂梁固定结构和支架。支架一端固定在光学平台上，F‑P标准具干涉测量系统放置在其上方；面...
该专利属于中国计量大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量大学授权不得商用。

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