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一种微型输送装置，包括：堆叠设置的进气板、共振片、压电致动器及集气板，其中共振片与压电致动器之间具有腔室间距形成的第一腔室，精确控制腔室间距来确保第一腔室具有足够的空间，使压电致动器受驱动时，气体由进气板导入，经共振片进入第一腔室内，再继续...
该专利属于研能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过研能科技股份有限公司授权不得商用。

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