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一种铁电薄膜的制备方法及应用技术
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文档序号:20783713
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本申请公开了一种铁电薄膜的制备方法及应用,首先,用乙酰丙酮铪和乙酰丙酮锆为原料,乙酸和乙酸酐为溶剂,制备铪锆氧前驱体溶液,然后将此溶液进行涂覆、干化热解和高温退火后得到铁电薄膜。再将此铁电薄膜应用到电容器的结构中。本申请提供的铁电薄膜,具有...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。
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