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本实用新型提供了一种蚀刻系统，包括：喷射装置，用于向基板喷射混合了微型泡沫的蚀刻液；吸入及喷嘴构件，安装在接近基板的位置，用于向基板喷射空气来分散蚀刻液，并吸入积累的蚀刻液进行回收；空气供给部，用于为吸入及喷嘴构件提供空气；蚀刻液回收部，用...
该专利属于东莞太星机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞太星机械有限公司授权不得商用。

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