下载蒸镀装置的技术资料

文档序号:20781716

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种蒸镀装置,其具备:真空容器,所述真空容器具有可开关的门;蒸发源,布置在所述真空容器中,用于对蒸镀材料进行加热;以及蒸发源挡板,用于对从所述蒸发源蒸发的蒸镀材料进行遮挡,所述蒸发源挡板配置成在遮挡位置和非遮挡位置之间可动,其...
该专利属于佳能特机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。