下载一种双远心投影光刻镜头的技术资料

文档序号:20763938

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本发明提供了一种双远心投影光刻镜头,其设计合理,具有高远心度、低畸变的特点,适用于长工作距离的场景,包括从物方至像方依次设置的前透镜群组、光阑、后透镜群组;所述前透镜群组包括从物方至像方依次设置的:第一透镜,具有正光焦度;第二透镜,具有负光...
该专利属于苏州源卓光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州源卓光电科技有限公司授权不得商用。

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