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一种湿度传感器、传感器制作方法以及湿敏材料的制备方法，该湿度传感器包括衬底层、第一电极、第二电极及湿敏材料，所述第一电极及所述第二电极间隔地设置于所述衬底层上，所述湿敏材料填充于所述第一电极与所述第二电极之间，所述湿敏材料为气凝胶结构的湿敏...
该专利属于浙江清华柔性电子技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过浙江清华柔性电子技术研究院授权不得商用。

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