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本实用新型提供了一种MEMS麦克风。所述MEMS麦克风包括封装壳体、与所述封装壳体围成收容空间的基板、收容于所述收容空间内并具背腔的MEMS芯片及与所述MEMS芯片电连接的ASIC芯片，所述基板包括形成于所述基板内部的收容槽，所述ASIC芯...
该专利属于瑞声声学科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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