下载谐振环/多谐振环六轴惯性传感器的技术资料

文档序号:20761777

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本发明公开了一种谐振环/多谐振环六轴惯性传感器,谐振环六轴惯性传感器包括谐振环和贴近谐振环布置的电极单元,所述电极单元包括XY轴加速度测量单元、Z轴加速度测量单元、XY轴角速率测量单元、Z轴角速率测量单元,电极均与谐振环间隙布置,其中XY轴...
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