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MEMS麦克风和用于MEMS麦克风的自校准的方法技术
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文档序号:20761742
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在电容性工作的MEMS麦克风中,通过改变偏置电压确定吸合点并且在此确定当前的吸合电压和在膜片与背电极之间的相应的吸合电容。由当前的吸合点与第一吸合点的在最终测试之后所确定的并且被保存在MEMS麦克风的内部存储器中的值和在第一工作点处的同样被...
该专利属于TDK株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过TDK株式会社授权不得商用。
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