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本发明公开了一种基于图像信息的点衍射干涉仪光路精确校准系统及方法，包括分光棱镜、扩束准直系统、衍射孔板、波前传感器、透镜、光功率计、三维精密电控平移台及其驱动器、CCD1和计算机，利用瑞利索末菲衍射理论分析得到对准误差与衍射波前偏差间的数学...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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