下载用于转移有用层的方法的技术资料

文档序号:20759961

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本发明涉及一种用于将有用层(3)转移到支撑体(4)上的方法,该方法包括以下步骤:通过将轻核素注入到第一衬底(1)中来形成脆化平面(2),以便在该平面与所述第一衬底(1)的表面之间形成有用层(3);将所述支撑体(4)施加到所述第一衬底(1)的...
该专利属于索泰克公司;法国原子能和替代能源委员会所有,仅供学习研究参考,未经过索泰克公司;法国原子能和替代能源委员会授权不得商用。

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