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流体处理装置、流体处理方法及流路片制造方法及图纸
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文档序号:20757615
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本发明的流体处理装置具有基板、薄膜及滑动部件。基板具有第一流路、第二流路、以及在第一流路的一端和第二流路的一端之间形成的隔壁。薄膜包含大致球冠形状的隔膜,以使隔膜和隔壁对置的方式配置于基板上。滑动部件在其背面形成有凸部,且以使背面朝向所述薄...
该专利属于恩普乐股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩普乐股份有限公司授权不得商用。
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