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本文公开且要求保护的是用于形成旋涂硬掩模的组合物，该组合物具有富勒烯衍生物和交联剂。还公开了用于形成硬掩模的工艺。...该专利属于亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;托马斯·拉达;约翰·L·罗斯;艾伦·布朗;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;爱德华·A·杰克逊所有，仅供学习研究参考，未经过亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;托马斯·拉达;约翰·L·罗斯;艾伦·布朗;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;爱德华·A·杰克逊授权不得商用。