下载新型碳化硅结势垒肖特基二极管及其制作方法的技术资料

文档序号:20748791

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本发明提供了新型碳化硅结势垒肖特基二极管,包括层叠设置的第一导电类型碳化硅衬底,第一导电类型碳化硅外延层;所述第一导电类型碳化硅外延层的上表面由中心向外依次设置有有源区、保护环和第二导电类型终端场限环;所述有源区包括间隔设置的多个第二导电类...
该专利属于厦门市三安集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门市三安集成电路有限公司授权不得商用。

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