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本发明提供了一种磷化铟高速双异质结双极结构晶体管的制作方法，包括如下步骤：1)外延片制备:以磷化铟作为生长衬底，在磷化铟的表面生长缓冲层A、剥离层、发射极层、基极层、集极层；2)准备一硬度高于磷化铟的永久性衬底；将备制好永久性衬底和外延片相...
该专利属于厦门市三安集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门市三安集成电路有限公司授权不得商用。

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