下载制造相变化记忆体的方法的技术资料

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一种制造相变化记忆体的方法,包含:形成一结构,包含:底电极;介电层,位于底电极上方;隔离层,位于介电层上方,并具有开口贯穿隔离层;以及多晶硅层,位于开口内;形成第一孔洞及第二孔洞分别贯穿多晶硅层及介电层,第二孔洞位于第一孔洞的下方;形成保护...
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