下载一种可通过调节纳米叠层比例来调节波长的多层膜LED及其制备方法的技术资料

文档序号:20728490

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本发明公开了一种可通过调节自身纳米叠层比例来调节波长的LED及其制备方法,属于半导体发光技术领域。本发明通过旋涂和原子层沉积的方法,控制生长的工艺参数,调节器件结构,把有机材料和无机材料杂化,利用氧化锌和氧化铝界面处量子限域效应,可以获得不...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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