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本发明涉及一种椭偏仪装置和基于该装置的检测方法，所述装置的一实施方式包括：在该装置中，激光器发出激光，激光由声光调制器进行调制之后进入第一会聚透镜，第一会聚透镜将激光聚焦耦合到光纤，激光从光纤出射后由准直透镜进行准直并进入起偏器；起偏器出射...
该专利属于北京环境特性研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京环境特性研究所授权不得商用。

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