下载一种基片强适应性纳米材料均匀成膜方法及其装置的技术资料

文档序号:20713372

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本发明公开了纳米材料镀膜装置技术领域的一种基片强适应性纳米材料均匀成膜方法包括添加溶液、基片装夹、蒸发镀膜、预抽真空和循环操作,该基片强适应性纳米材料均匀成膜装置,包括第一真空室和第二真空室,所述第二真空室焊接于第一真空室的右侧,所述第一真...
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