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一种可提升拉速的单晶硅连续生产结晶的单晶炉制造技术
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下载一种可提升拉速的单晶硅连续生产结晶的单晶炉的技术资料
文档序号:20710864
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本实用新型属于单晶硅生产领域,旨在提供一种可提升拉速的单晶硅连续生产结晶的单晶炉,包括炉体,炉盖,二次加料装置,加热器,加热器与升降装置连接,加热器的外侧设有用于冷却融化后硅料的水冷管。通过调整石英坩埚和加热器相对位置,避免硅料熔化前期出现...
该专利属于杞县东磁新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杞县东磁新能源有限公司授权不得商用。
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