下载用于铜引线接合的纳米结构阻挡层的技术资料

文档序号:20684804

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本发明的名称为用于铜引线接合的纳米结构阻挡层。用于铜引线接合的纳米结构阻挡层(110)包括金属晶粒(114)和在金属晶粒(114)之间的晶粒间金属(116)。纳米结构阻挡层(110)包括选自镍或钴的第一金属,和选自钨或钼的第二金属。晶粒间金...
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