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本申请实施例提供了一种阴极体组件、磁控溅射阴极及磁控溅射装置，涉及磁控溅射领域，可提高靶材表面的水平磁场强度。该阴极体组件包括：阴极板，还包括：设置在阴极板一侧板面上的磁路组件，磁路组件包括：中间磁体组件和环绕中间磁体组件的外圈磁体组件；其...
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