下载形成存储器电容的方法的技术资料

文档序号:20656421

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本发明公开一种形成存储器电容的方法。首先提供一基底,基底中具有多个存储垫,然后在基底上形成一图案化支撑层。在图案化支撑层上形成一底电极层,底电极层共形地形成在图案化支撑层上以及其开口的表面上,并接触存储垫。接着在底电极层上形成一牺牲层。后续...
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