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本实用新型公开了一种晶元载物装置，包括用于放置物料的载物盘，还包括第一载物底座，第一载物底座上设有张紧装置，张紧装置包括装设于第一载物底座上的第二载物底座，第二载物底座由上至下依次设置有张紧顶板和张紧底板，载物盘装设于张紧顶板上；其中，张紧...
该专利属于东莞触点智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞触点智能装备有限公司授权不得商用。

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