下载应变传感器及其制造方法的技术资料

文档序号:20617627

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本发明提供一种工艺简单、成本低、并且具有高灵敏度的应变传感器以及其制造方法。该应变传感器通过以下步骤制造:制备柔性衬底;用激光照射柔性衬底的一侧,形成导电层;在柔性衬底的形成有导电层的一侧形成电极,所述电极与所述导电层电连接;和在柔性衬底上...
该专利属于华东理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华东理工大学授权不得商用。

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