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本文的方式提供了一种系统，其用于在等离子体装置和相关联的传感器处于休眠或不再接收数据时(例如在等离子体装置断电时)确定是否已经移除或更换了等离子体装置的一个或多个可消耗部件。本文的方式确定存储在控制器的存储器中的某些类型的数据是否仍然有效，...
该专利属于威克特设备公司所有，仅供学习研究参考，未经过威克特设备公司授权不得商用。

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