下载基于异质结构的集成光子装置、方法和应用的技术资料

文档序号:20596843

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提供一种集成光子结构和一种制造方法,其包含:衬底,其具有至少一个安置在其中的开口;半导体堆叠,其安置在所述衬底上方,所述半导体堆叠至少部分通过所述至少一个开口与所述底层衬底隔离,以界定悬置半导体膜;以及第一掺杂区和第二掺杂区,其位于所述悬置...
该专利属于佛罗里达中央大学研究基金会所有,仅供学习研究参考,未经过佛罗里达中央大学研究基金会授权不得商用。

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