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文档序号:20596612
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提供一种稳定的电特性的半导体装置。或者,提供一种适合于微细化或高密度化的可靠性高的半导体装置。该半导体装置,包括:第一阻挡层;第二阻挡层;第三阻挡层;具有氧化物的晶体管;绝缘体;以及导电体。绝缘体包括过剩氧区域。绝缘体及氧化物位于第一阻挡层...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。
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