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带介电薄膜的基板及使用其的光调制元件制造技术
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下载带介电薄膜的基板及使用其的光调制元件的技术资料
文档序号:20596135
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本发明提供一种带介电薄膜的基板,即使在将铌酸锂膜的膜厚增厚至例如1μm以上的情况下,也难以产生裂纹。本发明的带介电薄膜的基板具备:单晶基板(2);介电薄膜(3),其由外延形成于单晶基板(2)的主面(2a)的c轴取向的铌酸锂构成。介电薄膜(3...
该专利属于TDK株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过TDK株式会社授权不得商用。
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