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衍射光学元件、光照射装置制造方法及图纸
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下载衍射光学元件、光照射装置的技术资料
文档序号:20596072
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提供一种光的利用效率高,且即使在光的入射角偏离的情况下,对衍射光的影响也小并能够稳定地获得希望的衍射光,进而衍射光的不均匀性少的衍射光学元件、光照射装置。衍射光学元件(10)是一种对光进行整形的衍射光学元件,具备衍射层(15),所述衍射层(...
该专利属于大日本印刷株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过大日本印刷株式会社授权不得商用。
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