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文档序号:20595956

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本文中呈现用于将天然气管路中的例如H2S或H2O等痕量级及/或超痕量级的物质量化的系统及方法。所述系统及方法采用可调谐激光器,例如可调谐二极管激光器、垂直腔面发射激光器VCSEL、外部腔二极管激光器或垂直外部腔面发射激光器VECSEL或者可...
该专利属于MKS仪器公司所有,仅供学习研究参考,未经过MKS仪器公司授权不得商用。

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