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一种用于挖沟槽的硅片旋转装置制造方法及图纸
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下载一种用于挖沟槽的硅片旋转装置的技术资料
文档序号:20591701
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一种用于挖沟槽的硅片旋转装置,包括槽体,所述槽体两端的底部分别设有固定架;所述固定架的内侧均设有翻转支座;所述固定架上设有传动机构,所述传动机构与对应的所述翻转支座固定连接;所述槽体两端侧壁外部均设有滚动调速马达,所述滚动调速马达与所述传动...
该专利属于天津环鑫科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津环鑫科技发展有限公司授权不得商用。
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